「某半导体」有机废气和酸碱废气治理
山东某半导体公司是一家专注于碳化硅单晶衬底材料研发、生产和销售的科技型企业。在半导体工艺制程中,需要使用多种特殊气体、大量的酸、碱等化学品以及有机溶剂和挥发性液体,这些气体和化学品在半导体制造的不同工艺中使用会产生废气。半导体企业废气一般分为酸性排气、碱性排气、有机废气、砷排和一般排气等。
在做废气处理设备前段,需要对半导体生产车间的废气进行收集,通过通风管道系统进入废气处理设备,才能有效治理;
前段酸碱废气处理:采用两段喷淋塔对酸碱废气进行预处理,同时去除废气内含的粉尘有效治理;
酸性废气采用碱液洗涤塔,废气与氢氧化钠吸收液进行气液两相充分接触吸收中和反应,酸性废气经过净化后,碱性废气进入第二段酸液洗涤塔,与稀硫酸吸收液进行气液两相充分接触吸收中和反应,碱性废气经过净化
怡帆机电定制的废气系统处理方案,VOCs排放浓度符合当地的排放标准,在半导体行业中该系统设备更科学、更安全、高效率的解决废气问题,性价比更高,且无二次污染。