工业废气颗粒物质是指 在空气中不断运动的固体微粒或者是细小的液滴，粒径的大小大概要大于单个的分子但是要小于五百微米，这个尺寸的粒子在空气中存在的时间是不等的，有不到一秒的，甚至有几个月的， 粒径特别小的粒子是在空气中不断的碰撞，始终处于布朗运动，0.1~1微米的粒子在空气中有着一定的沉降速度，但是特别小，大于一微米的粒子其沉降速度比较显著，但是仍旧很小，粒径大于二十微米的沉降速度比较大，在重力或者是外力的作用下会从空气中分离出来。
工业废气颗粒物质的来源主要是人为产生的粒子，由于燃烧产生的氮氧化物和碳氢化合物之间的光化学反应而产生的颗粒，粒径要小于0.2微米。废气处理粒子物质按其粒径的大小可以分为几类，粉尘、细粒粉尘、雾、烟。
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